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大氣污染治理主要為泛半導(dǎo)體、垃圾焚燒發(fā)電等存在廢氣治理需求的下游行業(yè)提供廢氣治理設(shè)備及服務(wù)，保障下游行業(yè)生產(chǎn)經(jīng)營、實(shí)現(xiàn)下游行業(yè)的綠色發(fā)展。

一、泛半導(dǎo)體行業(yè)

1、光電顯示器件、集成電路制造的核心工藝流程及產(chǎn)污情況

光電顯示器件是指依靠矩陣點(diǎn)或線段的電子元件控制并激勵(lì)屏幕發(fā)光，呈現(xiàn) 信息供視覺感受的器件，主要包含 LCD、OLED 等。其中，TFT-LCD 的生產(chǎn)工 藝流程主要包括陣列、彩膜、成盒和模組工序；AMOLED 的生產(chǎn)工藝流程主要 包括陣列、蒸鍍、切割和模組工序。TFT-LCD 和 AMOLED 的主要生產(chǎn)工序及主 要廢氣污染物見下表：

數(shù)據(jù)來源：《電子工業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)（二次征求意見稿）》編制說明、韋伯咨詢整理

集成電路制造的核心工藝流程主要包括：摻雜、光刻、刻蝕和薄膜工藝。集 成電路制造工藝主要廢氣污染物見下表。

數(shù)據(jù)來源：《電子工業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)（二次征求意見稿）》編制說明、韋伯咨詢整理

2、泛半導(dǎo)體工藝廢氣治理的必要性

泛半導(dǎo)體行業(yè)客戶生產(chǎn)過程中大量使用濕電子化學(xué)品和特殊氣體，生產(chǎn)環(huán)節(jié)

持續(xù)產(chǎn)生成分復(fù)雜的工藝廢氣。工藝廢氣需要與生產(chǎn)工藝同步進(jìn)行收集、治理和

排放，廢氣治理系統(tǒng)及設(shè)備是客戶生產(chǎn)工藝不可分割的組成部分，其安全穩(wěn)定性 直接關(guān)系到客戶的產(chǎn)能利用率、產(chǎn)品良率、員工職業(yè)健康及生態(tài)環(huán)境。

（1）影響產(chǎn)能利用率

泛半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝是高度自動(dòng)化的連續(xù)工序，大部分

環(huán)節(jié)對(duì)工藝設(shè)備的排氣壓力存在較高要求。當(dāng)工藝廢氣治理系統(tǒng)發(fā)生故障，未能

同步對(duì)工藝廢氣進(jìn)行收集、治理和排放時(shí)，會(huì)導(dǎo)致連續(xù)工序中斷，直接影響客戶 產(chǎn)線的穩(wěn)定運(yùn)行，從而影響產(chǎn)能利用率。

（2）影響產(chǎn)品良率

泛半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝精密度極高，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度要求嚴(yán)格，生產(chǎn)過程均在高等級(jí)潔凈室內(nèi)進(jìn)行。工藝廢氣自工藝設(shè)備進(jìn)入工藝排氣管道后，如因工藝廢氣治理系統(tǒng)故障導(dǎo)致負(fù)壓不穩(wěn)定，或者工藝排氣管道泄漏， 致使?jié)崈羰覂?nèi)空氣環(huán)境改變，可能導(dǎo)致產(chǎn)品良率下降乃至報(bào)廢。

（3）危及員工職業(yè)健康

泛半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中產(chǎn)生的揮發(fā)性有機(jī)物及其光化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)物等對(duì)人體健康有直接危害，通過呼吸道、皮膚等進(jìn)入人體，導(dǎo)致各種 急慢性健康問題，包括粘膜刺激、炎癥、心肺疾病和癌癥等。

（4）破壞生態(tài)環(huán)境

泛半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝通常是高能耗、高水耗、高頻率產(chǎn)生和排放有毒有害污染物的過程，會(huì)排放酸性、堿性、有機(jī)、有毒和含塵廢氣等。酸性廢氣主要來源于工藝流程中使用各種酸液刻蝕、清洗過程，堿性廢氣主要來源于光刻、顯影、化學(xué)機(jī)械拋光等工藝，有機(jī)廢氣主要來源于涂膠、顯影工序以及各工序使用有機(jī)溶劑清洗過程，有毒有害廢氣主要來自于化學(xué)氣相沉積、干法 刻蝕和離子注入等工序。

二、垃圾焚燒發(fā)電行業(yè)

1、垃圾焚燒發(fā)電的產(chǎn)污情況

根據(jù)《生活垃圾焚燒污染控制標(biāo)準(zhǔn)》（GB 18485-2014），垃圾焚燒主要廢氣 污染物見下表

數(shù)據(jù)來源：《生活垃圾焚燒污染控制標(biāo)準(zhǔn)》（GB 18485-2014）、韋伯咨詢整理

2、垃圾焚燒煙氣治理的必要性

垃圾焚燒煙氣成分復(fù)雜，氣體包括二氧化硫、一氧化碳等，煙塵顆粒物包括灰分、無機(jī)鹽類、重金屬氧化物等，危害生態(tài)環(huán)境，常見的有酸雨、臭氧空洞、溫室效應(yīng)、厄爾尼諾等。此外，垃圾焚燒后還可能產(chǎn)生劇毒物，如二噁英，威脅 人類生命健康。
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